X射線(xiàn)熒光光譜儀的不斷完善和發(fā)展所帶動(dòng)的X 射線(xiàn)熒光分析技術(shù)已被廣泛用于冶金、地質(zhì)、礦物、石油、化工、生物、醫(yī)療、刑偵、考古等諸多部門(mén)和領(lǐng)域。X射線(xiàn)熒光光譜分析不僅成為對(duì)其物質(zhì)的化學(xué)元素、物相、化學(xué)立體結(jié)構(gòu)、物證材料進(jìn)行試測(cè)，對(duì)產(chǎn)品和材料質(zhì)量進(jìn)行無(wú)損檢測(cè)，對(duì)人體進(jìn)行醫(yī)檢和微電路的光刻檢驗(yàn)等的重要分析手段，也是材料科學(xué)、生命科學(xué)、環(huán)境科學(xué)等普遍采用的一種快速、準(zhǔn)確而又經(jīng)濟(jì)的多元素分析方法。