高分辯衍射儀儀器簡(jiǎn)介：
X'Pert PRO MRD/XL是高級(jí)半導(dǎo)體材料的標(biāo)準(zhǔn)裝備，用于： 高級(jí)材料科學(xué)和納米技術(shù)，半導(dǎo)體材料研究和生產(chǎn)質(zhì)量控制，可以適用各種應(yīng)用，尤其適合薄膜分析，例如： 搖擺曲線分析和倒易空間Mapping， 反射率和薄膜相分析，殘余應(yīng)力和織構(gòu)分析， X'Pert PRO MRD/ XL 高分辯衍射儀滿足半導(dǎo)體、LED、薄膜和高級(jí)工業(yè)材料的所有高分辨XRD分析需要。XL可以滿足直徑達(dá) 300 mm的晶片分析，并有精密的自動(dòng)晶片裝載選擇；XL成為薄膜生產(chǎn)發(fā)展的的分析手段，LED的業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)。

X射線衍射儀技術(shù)分析其衍射圖譜，獲得材料的成分、材料內(nèi)部原子或分子的結(jié)構(gòu)或形態(tài)等信息的研究手段。X射線衍射分析法是研究物質(zhì)的物相和晶體結(jié)構(gòu)的主要方法。當(dāng)某物質(zhì)(晶體或非晶體)進(jìn)行衍射分析時(shí),該物質(zhì)被X射線照射產(chǎn)生不同程度的衍射現(xiàn)象,物質(zhì)組成、晶型、分子內(nèi)成鍵方式、分子的構(gòu)型、構(gòu)象等決定該物質(zhì)產(chǎn)生*的衍射圖譜。X射線衍射方法具有不損傷樣品、無污染、快捷、測(cè)量精度高、能得到有關(guān)晶體完整性的大量信息等優(yōu)點(diǎn)。因此,X射線衍射分析法作為材料結(jié)構(gòu)和成分分析的一種現(xiàn)代科學(xué)方法,已逐步在各學(xué)科研究和生產(chǎn)中廣泛應(yīng)用。  

高分辨衍射儀的主要特點(diǎn)：