X射線熒光光譜儀（XRF）具有重現(xiàn)性好，測量速度快，靈敏度高的特點。能分析F(9)～U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業(yè)樣品。

X射線熒光光譜儀由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構成。X射線管產(chǎn)生發(fā)射X射線（一次X射線），激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素都會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。 元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內層電子的躍遷，同時發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線，根據(jù)莫斯萊定律，熒光X射線的波長λ與元素的原子序數(shù)Z有關，其數(shù)學關系如下：λ=K(Z− s)−2（K和S是常數(shù)）。根據(jù)量子理論，X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流，每個光具有的能量為：E=hν=h C/λ（E為X射線光子的能量，單位為keV；h為普朗克常數(shù)；ν為光波的頻率；C為光速）。因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎。此外,熒光X射線的強度與相應元素的含量有一定的關系，據(jù)此，可以進行元素定量分析。

Zetium 光譜儀專為滿足要求嚴苛的流程控制和研發(fā)應用需求而設計，其高品質的設計和功能，可對從鈹?shù)斤训榷喾N元素進行精度范圍從百萬分之一以下到百分之一的分析。能夠對多種材料進行元素分析，包括固體、液體和疏松粉末。